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产品特点：
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产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
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水平电极设计，可满足软性产品处理需求
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低耗能、耗气产品
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便捷的收放板方式
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真空系统集成，占地面积小
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合理的等离子反应空间，使处理更均匀
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集成的控制系统设计，使操作更方便
产品参数：
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型 号 |
真空等离子清洗机 |
HSR-150B |
HSR-100B |
HSR-60B |
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电源系统 |
电源 |
射频电源 |
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功率 |
0~600W |
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频率 |
13.56MHz |
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真空系统 |
双级旋片泵（油泵） |
罗茨泵+单级旋片泵 |
60㎥/h |
40㎥/h |
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真空管路 |
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
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材质 |
铝合金（可定制不锈钢腔体） |
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厚度 |
25mm |
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密封性 |
军工级焊接密封 |
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腔体内部尺寸 |
500×670×500mm |
400×450×500mm |
375×375×430mm |
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电极板有效尺寸（宽×深） |
587×470mm |
420×411mm |
345×344mm |
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可用空间间距 |
34mm |
22.5mm |
22.5mm |
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电极板布置方式 |
水平布置，可活动抽取 |
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工作托盘 |
标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） |
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工作空间 |
3层 |
8层 |
上下 2 层 |
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气体系统 |
流量范围 |
0~300SCCM |
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工艺气体气路 |
氩气 |
标配两路，可定制 |
标配两路，可定制 |
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控制系统 |
系统控制 |
PLC |
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交付方式 |
7 寸触控屏幕 |
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其它参数 |
外形尺寸（mm)（宽×高×深） |
1020×1720×1120 |
900×1750×1000mm |
900×1600×900mm |
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重量 |
350KG |
200KG |
150KG |
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设备外观颜色 |
银灰色 |
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