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例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径 um的硅片，温度上升度，就引起了.um线性膨胀，所以有±.度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，是怕的半导体车间，这种车间温度不宜度，湿度过生的问题多。相对湿度时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在时易生锈。所以，重庆净化工程对类似这种空间是有的。
重庆净化工程中各空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、空气过滤器过滤。空气净化处理，可采用亚空气过滤器代空气过滤器。空气过滤器的布置和安装方式，应合：初效空气过滤器不应浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；空气过滤器或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，空气过滤的安装方式应简便，宜检漏和换；中效、亚、空气过滤器宜按额定风量；阻力、效率相近的空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
净化空气主要服务于河北、山东、辽宁、黑龙江、吉林、甘肃、青海、重庆、江苏、湖北、湖南、江西、浙江、广东、云南、福建、、海南、山西、四川、陕西、贵州、安徽、重庆市、北京市、上海市、天津市等地区。需要注意的是：重庆净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取室外污染空气通过新风口参入净化车间内的灌倒措施。
